以晶体生长装备为入口,连接系统工程、研发验证与中试规划。
重点装备 · 系统能力 · 工程服务
围绕提拉、坩埚升降旋转及腔体动作,组织精密机构与整机接口的工程适配讨论。
围绕真空、氩气、冷却和热环境,梳理先进装备运行条件与现场公用工程接口。
围绕设备运行、CCD观测和状态监测,明确控制接口与验证要求,支持系统层面的工程沟通。
明确应用、工艺与现场条件,共同讨论产品配置和工程路径。